线性滑轨机械加工的目标是追求加工精度、成本和效率的最佳组合，为了实现该目标，急需研究开发的关键技术之一就是加工精度在线测量技术，在多品种小批量生产条件下，研究先进的在线测量技术意义尤其重大，因为在线测量是加工测量一体化技术的重要组成部分，是保证零件质量和提高生产率的重要手段。国外很早就已经认识到在线测量技术的重要性而进行了大量的研究，并且在生产实际中得到了大量的应用。
零件加工精度的在线测量分为两种情况，一是在加工过程中直接测量工件加工表面，加工过程一结束，就能得到所需要的精度指标,这是在线测量最理想的情况；二是加工过程结束后，工件仍然安装在机床上，用合理的测量仪器对工件进行测量。在超精密加工中，热变形对加工精度的影响是不可忽视的，因此在加工过程中恒温油淋浇或切削液冷却是必须的，在有冷却液和工件转速高的情况下，测量精度达到0.01μm的传感器目前还没有，因此在超精密加工中，零件加工精度的检测主要是采用传统的离线测量方法，而离线测量的费用在很多情况下等于甚至超过零件的加工费用。
现在机械加工质量保证的发展趋势是：通过用在线测量全部代替离线测量和统计质量控制使质量保证更靠近加工过程，保证零件从加工设备卸下就是合格品，当然这需要一个前提即在线测量的效率和精度必须得到保证，这样综合决策和必要的补偿就能在最小的时间延迟内得以实现。因此研究零件加工精度的在线测量技术具有重要的现实意义。
由于研制的亚微米超精密车床运动部件的运动精度是很高的，甚至比很多测量仪器和测量机的运动精度还高，如果把机床和合适的测量仪器有机地接合起来，即可实现零件加工精度的在线测量，这样机床即可作加工用，又可作测量用，扩大了机床的应用范围，又解决了零件的测量问题。
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